常用的防靜電測試儀器有如下：

表面電阻測試儀

用于測量防靜電地板、防靜電工作表面、防靜電貨架、防靜電椅子、防靜電周轉箱、防靜電推車、防靜電鞋子、防靜電衣服、防靜電帽子、防靜電腕帶和防靜電手套等的表面阻抗和對地阻抗。

儀器型號：Warmbier Metriso 2000和Metriso B530

充電板監(jiān)測儀

用于測量離子發(fā)生器的衰減時間和殘余電勢。

儀器型號：Kleinwachter CPM 374

行走電壓測試儀

用于測量人在防靜電地板上行走時產(chǎn)生的人體電壓。

儀器型號：Warmbier WT 5000

靜電場測試儀

用于測量物體表面的靜電場強度。

儀器型號：Warmbier EFM 51、SIMCO FMX-003和TREK Model 876

接觸式靜電壓測試儀

用于精確地測量ESDS產(chǎn)品的靜電壓，并且可以消除周邊靜電場強度的影響，對于ESD定期測試中的Device和EF測量和分析都是非常有價值的儀器。

儀器型號：PROSTAT CVM-780

萬用表

用于測量被測導體和接地點之間的對地電阻值

儀器型號：FLUKE 15b

人員接地測試儀

用于測量人員穿戴防靜電鞋子和防靜電腕帶的系統(tǒng)阻抗，可以與門禁滾軋配合使用。

儀器型號：Warmbier PGT 120

靜電測試儀適用于bai測量帶電物體的靜電電壓（電位）du,如導體zhi、絕緣體、及人體等的靜電電位。還可測量液面電位及檢測防靜電產(chǎn)品性能等... 是一非接觸式手提靜電場測試儀，內置微控處理器，測量精確，但體積輕巧和使用簡便。

測試靜電的方法 ：

1、防靜電接地線全部使用6m㎡多股銅芯絕緣線，每樓層或適當區(qū)段用銅排或40A以上開關，閘刀與主干線相連，以利檢查維修。

2、防靜電接地線纜應與設備外殼，工作臺鐵架，工作燈架等良好絕緣，防止短路，搭連或破皮連接。

3、于分段銅排或開關的"干線端"，另鋪一條檢查線.(1.5~2m㎡即可)，每車間設2~3檢查點，固定好，標識清楚。

4、測量：使用指針式萬用表，電阻檔。

各防靜電測試點與防靜電地線間電阻5~15Ω，理想應為0Ω.但實際測得為2m㎡，導線從測試點到總結點電阻+6m㎡，導線從總結點到被測點電阻之和，這一值約5-15Ω且基本不變，如測量結果趨于無窮大，是為防靜電地線或測量線有一條斷線，應及時修好。

防靜電接地線與設備地間電阻，這一阻值為防靜電地線本身線阻+設備地線本身線阻+兩地線間地電阻組成.但兩接地線間由于地面干濕程度，尤其地電流，每時每刻大小方向頻率等都在變。

而且主要決定測量結果，故只能用指針表測量，且其值從十幾歐到幾百K都算正常，僅說明兩地間未短路也未開路即可。