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荷蘭新規(guī)所有DUV光刻機(jī)都禁止出口?ASML正式回應(yīng)

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7月1日消息,昨天有消息稱,ASML旗下所有的DUV光刻機(jī),出口都要被經(jīng)過(guò)認(rèn)可才可以。

對(duì)于這樣的說(shuō)法,也是引起了熱議,不過(guò)ASML給出了回應(yīng)。

ASML表示,出口管制條例只涉及部分最新DUV型號(hào),包括TWINSCAN NXT:2000i及后續(xù)推出的浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)。EUV光刻機(jī)在此前已經(jīng)受到限制,其他系統(tǒng)的發(fā)運(yùn)未受管控。

此外,ASML還表示,上述規(guī)定是在9月1日才生效,而他們已經(jīng)提交了許可申請(qǐng)。

所以,在上述時(shí)間之前發(fā)貨的DUV光刻機(jī)或不受影響,此前業(yè)內(nèi)猜測(cè)的TWINSCAN NXT:1980Di也不受影響。

在這之前,光刻機(jī)大廠ASML高管對(duì)外表示,半導(dǎo)體業(yè)只有通力合作,建立完全自主的產(chǎn)業(yè)鏈,即使并非不可能也會(huì)極其困難。

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